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    題名: 研究鋨多層膜之微結構特性
    作者: 蔣大鵬
    貢獻者: 通識教育中心 自然教學中心
    關鍵詞: 鋨 、 多 層 膜 、 表 面 粗 糙度、超順磁效應
    日期: 2012-12
    上傳時間: 2013-04-17 13:17:39 (UTC+8)
    摘要: 本 計 劃 對 鋨 金 屬 在 插 入 鈷 鐵 磁 性 多 層 膜 後的結構與特性做研究。鈷
    鐵磁性多層膜以鋨為中間層的研究，乃因鋨金屬有高熔點、沸點和高密
    度的性質， 在多層膜材料中， 鋨金屬可作到極佳防止擴散的功能。
    本 研 究 以 磁 控 濺 渡 法，在石英玻璃或矽基板上製做鈷鐵磁性多層膜
    以鋨為中間層的[Co50Fe50(x)/Os(1)]n 樣品， 鈷鐵磁性層厚度可分為2、
    5、10、25、50、100 奈米等， 其總厚度為100 奈米， 相對於多層膜的
    層數為50、20、10、4、2、1； 二磁性層間插入厚度為1 奈米的鋨金屬
    層。以鋨金屬層來控制磁性層的結構，與在不同的磁性薄膜厚度下之晶
    粒成長。例如對具有(110)取向的鈷鐵，在鈷鐵/鋨/鈷鐵的層數增加時，
    由於鋨與磁性層間的應力效應變化， 而使(110)CoFe 相由無序轉為有
    序。薄膜結構以x 光繞射分析儀(XRD)來驗證，表面粗糙度以原子力顯
    微鏡(AFM)來觀察， 穿透式電子顯微鏡(TEM)用來觀察材料的內部構
    造，以了解鋨金屬層數增加，對材料結構的影響。在室溫下，用振動樣
    品磁化儀(VSM)來量測，鈷鐵磁性多層膜以鋨為中間層樣品的磁性質。
    在鈷鐵磁性多層膜以鋨為中間層的層數大於10 層時， 將會因鋨金屬層
    數的增加， 而使鈷鐵晶粒變小， 會有超順磁效應之出現。
    顯示於類別:[自然科學教學中心] 校內專題研究計畫

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