研究鋨多層膜之微結構特性

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Title:	研究鋨多層膜之微結構特性
Authors:	蔣大鵬
Contributors:	通識教育中心自然教學中心
Keywords:	鋨、多層膜、表面粗糙度、超順磁效應
Date:	2012-12
Issue Date:	2013-04-17 13:17:39 (UTC+8)
Abstract:	本計劃對鋨金屬在插入鈷鐵磁性多層膜後的結構與特性做研究。鈷鐵磁性多層膜以鋨為中間層的研究，乃因鋨金屬有高熔點、沸點和高密度的性質，在多層膜材料中，鋨金屬可作到極佳防止擴散的功能。本研究以磁控濺渡法，在石英玻璃或矽基板上製做鈷鐵磁性多層膜以鋨為中間層的[Co50Fe50(x)/Os(1)]n 樣品，鈷鐵磁性層厚度可分為2、 5、10、25、50、100 奈米等，其總厚度為100 奈米，相對於多層膜的層數為50、20、10、4、2、1；二磁性層間插入厚度為1 奈米的鋨金屬層。以鋨金屬層來控制磁性層的結構，與在不同的磁性薄膜厚度下之晶粒成長。例如對具有(110)取向的鈷鐵，在鈷鐵/鋨/鈷鐵的層數增加時，由於鋨與磁性層間的應力效應變化，而使(110)CoFe 相由無序轉為有序。薄膜結構以x 光繞射分析儀(XRD)來驗證，表面粗糙度以原子力顯微鏡(AFM)來觀察，穿透式電子顯微鏡(TEM)用來觀察材料的內部構造，以了解鋨金屬層數增加，對材料結構的影響。在室溫下，用振動樣品磁化儀(VSM)來量測，鈷鐵磁性多層膜以鋨為中間層樣品的磁性質。在鈷鐵磁性多層膜以鋨為中間層的層數大於10 層時，將會因鋨金屬層數的增加，而使鈷鐵晶粒變小，會有超順磁效應之出現。
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