太陽能電池多晶矽切片製程最佳參數設定- 以A 公司為例

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題名:	太陽能電池多晶矽切片製程最佳參數設定- 以A 公司為例
作者:	黃嘉若
貢獻者:	工管系
關鍵詞:	砷化鎵產業鏈、DMAIC、晶棒切割、複線切割
日期:	2016-10
上傳時間:	2017-02-15 15:14:59 (UTC+8)
摘要:	在將晶棒切割成基板製程，當屬面方位角品質特性最為重要，因為當切割後基板的面方位角不良時無法重工而會判定為不合格品。在採用複線切割技術生產下，一支單結晶晶棒在切割完後，理想上每片皆具備相同一致的面方位角。然而，若是出現製程異常，可能會使數百枚基板的面方位角超出規格。以六吋晶棒來說會損失約13~15公斤。本研究是以單結晶砷化鎵晶棒基板切割製程為研究對象。嘗試以六標準差的管理手法DMAIC導入製程改善流程中，對製造流程變異作評估，並利用Minitab分析軟體檢定目標，找出產品的可歸屬原因和機會原因。如此，便可掌握關鍵變因，提升製程能力。另外，建立關鍵品質特性的管控系統，確保產品的高良率，進而可達到六標準差管理的目標。本研究以6吋晶棒產品為例，砷化鎵基板的切割將結合後的分析模式導入，使得原先品質特性-正崩值的製程能力Cpk得到改善。以個案中切割台的測角器為例，X軸偏差角Cpk指標自1.08 提升至 2.24、Y軸偏差角Cpk指標1.28提升至3.23，使得面方位角偏差值從0.020度降低0.011度、標準差自0.0091下降至0.0048成功的驗證此分析模式可提升其製程能力，並減少不良品的成本浪費及提高製程水準
顯示於類別:	[工業工程與管理系] 校內專題研究計畫

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