製作新型砷化鎵銦紅外光二極體偵測濕度與醣濃度之研究

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题名:	製作新型砷化鎵銦紅外光二極體偵測濕度與醣濃度之研究
作者:	陳啟文
贡献者:	電子系
关键词:	雙通道薄膜電晶體、扭結效應、ONO 堆疊介電層、電荷汲引技術。
日期:	2015-10
上传时间:	2016-01-08 16:29:33 (UTC+8)
摘要:	本研究利用MOCVD 將磷化銦/砷化銦鎵(InGaAs)成長於磷化銦之基板的磊晶片，進行鋅擴散之研究與後續製程設計以達在近紅外光波段具有高響應度(Responsivity)並且低暗電流(Dark current)之大面積紅外光感測器，並把製作而成的檢測器進行實際應用。光感測器的吸收波長範圍在0.9~1.7μm，利用InGaAs 可大範圍吸收波長的特性，設計四個大面積主動區，在設計光罩時需預先考慮受光區是否會被其他線材、蓋子等元件所使用的器材所影響，並且在不增加後續製程難度的情況下，使光電流能夠盡可能的變大，為此目的需對受光區域的面積做最有效率的應用。為了使應用上更佳的便利，設計的光感測器為一個1x4 的長方形矩陣，在此矩陣中我們為了確保擴散時濃度的均勻性，我們使用快速熱退火機(RapidThermal Annealing)進行擴散，而在各種擴散方式中，發現於鈍化後的再次低溫擴散，可以有極低的暗電流，在加入逆向偏壓5V 時產生的暗電流約206pA，暗電流密度達1.3 x 10-7 A/cm2。在應用上，我們發現當與光源的距離上增加時，光感測器產生的光電流，則是呈非線性的減少。故利用鎢絲燈泡接近元件吸收範圍的特性，應用於光線透過皮膚進入光感測器中，四個主動區分別產生不同的光電流大小，藉由光電流之間的差異性，來探討皮膚中的水份與光感測器之間的關係。
显示于类别:	[電子工程系] 校內專題研究計畫

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