光束寬度的工業標準量測技術研究

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Title:	光束寬度的工業標準量測技術研究
Authors:	蔡健忠
Contributors:	光電系統工程系
Keywords:	光束寬度，工業標準，光功率計，照度
Date:	2013-12-31
Issue Date:	2014-01-13 10:02:39 (UTC+8)
Abstract:	依照工業界對量測光束寬度所訂定之規範及方法進行研究，並以 ISO 11146 的標準來實施。工業界常用測量的方法有四種，如以照相機為基礎(Camera-based) 之量測系統，狹縫(Slit)掃描器，刀邊(Knife-edge)掃描器，針孔(Pinhole)掃描器等。 Camera-based 量測系統是以電荷偶合元件(Charge Couple Device, CCD)或互補金屬氧化半導體(Complementary Metal Oxide Semiconductor, CMOS)對光束進行分析，如光束強度過強則必須加裝衰減片進行保護，否則對CCD 或CMOS 元件會造成傷害，之後可找出光束的大小及照度的強弱；而後面三種則是以測量儀或者是光功率計架在螺旋測微移上，而且接收面必須與光束垂直，以數μm 的間距進行步進量測，再依工業標準所規定的，以測量到最大功率的1/e2(13.5%)之處為光束的寬度大小。期許透過本研究，能夠幫助業界在制定精密光學機台上，對光束寬度的允收標準及日後的維護調校，有具體的方法與技術可參考。
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