氧化鎢薄膜摻雜碳之電致變色研究

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Title:	氧化鎢薄膜摻雜碳之電致變色研究
Authors:	江政忠
Contributors:	機械工程系
Keywords:	電致變色、氧化鎢薄膜、摻雜、碳、著色、漂白、共濺鍍
Date:	2013-12-31
Issue Date:	2014-01-13 09:52:22 (UTC+8)
Abstract:	本計畫成功地使用直流磁控反應共濺鍍鎢靶與碳靶，在碳靶不同濺鍍功率下，獲得不同碳成份的氧化鎢薄膜，並分析摻雜碳元素對氧化鎢薄膜的微結構與著色/ 漂白光穿透度反應之關係。摻雜碳元素的氧化鎢薄膜皆為非晶結構，薄膜表面均相當平整，摻雜碳的氧化鎢薄膜，著色態穿透率低於未摻雜碳之氧化鎢薄膜，漂白態穿透率也優於未摻雜碳之氧化鎢薄膜，且碳濺鍍功率40W 時，可見光平均穿透率漂白態相差3.24%，著色態相差20%，著色/漂白態有最大的可見光平均穿透率差異 33.16%，波長550 nm 著色/漂白態的穿透率差異為31.57%，所以在直流磁控反應共濺鍍獲得氧化鎢掺雜碳薄膜的製程下，電致變色最佳特性之製程參數為碳靶功率 40W(DC)。此計畫之執行不僅培育人才，也提昇我國整體的研究能力、促進國家學術地位及工業水準。
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