白光干涉技術應用在光學薄膜折射率、消光係數與厚度量測之研究

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Title:	白光干涉技術應用在光學薄膜折射率、消光係數與厚度量測之研究
Authors:	江政忠
Contributors:	光電系統工程系
Keywords:	白光垂直掃瞄干涉儀、折射率、消光係數、厚度、簡形優化法
Date:	2012-12
Issue Date:	2013-04-16 18:56:41 (UTC+8)
Abstract:	本計畫成功地建立白光垂直掃瞄干涉儀量測光學薄膜的折射率、消光係數與厚度，且此白光干涉儀的軟、硬體皆自行組裝與撰寫，以壓電致動元件步進掃描方式獲得不同光程差之白光干涉強度，利用白光同調長度很短的特性，以及使用簡形優化數值分析方法與零階干涉條紋鑑定法，決定光學薄膜的折射率、消光係數與厚度，可支援光學薄膜鍍膜產業與光學薄膜的各種應用，包含節能技術開發與顯示技術開發，嘗試使白光Michelson 干涉量測儀能夠具有更多的發展與應用範圍。此計畫之執行不僅培育人才，也提昇我國整體的研究能力、促進國家學術地位及工業水準。
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