化學機械研磨廢液回收矽粉應用於高分子之研究

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Title:	化學機械研磨廢液回收矽粉應用於高分子之研究
Authors:	張良濤
Contributors:	化學工程與材料科技系
Keywords:	晶圓切割廢液，二氧化矽、聚乙烯醇、耐磨耗性、熱膨脹性、熱分解溫度
Date:	2011-12
Issue Date:	2012-05-11 09:51:56 (UTC+8)
Abstract:	本研究是將太陽能電池晶圓切割廢液進行固體粉末回收與再利用技術研究，其回收固體粉末成分中經電子微探儀及粒徑分析儀分析結果，得知矽佔了大部分 (46.5%)，再來是氧(44.7%)，其次是碳 (5.2%)，主要成分為二氧化矽，粉體平均粒徑的大小在於 229nm至 291nm之間，粒徑分布於 342nm至 1110nm之間。將回收的二氧化矽分散在聚乙烯醇中，經乾燥成膜後進行機械性質、耐磨耗測試、熱膨脹性及熱分解溫度等測試。發現回收的二氧化矽的加入可以提升聚乙烯醇的耐磨耗性、耐熱性及降低聚乙烯醇的線膨脹係數。由於回收的二氧化矽並非奈米級粉體，所以加入到聚乙烯醇中並沒有提升聚乙烯醇的抗拉強度，但會提升聚乙烯醇的剛性。
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