以 LabVIEW 全操控微光柵量測平台

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Title:	以 LabVIEW 全操控微光柵量測平台
Authors:	蔡健忠
Contributors:	光電工程系
Keywords:	自動化控制系統、步進馬達、微光柵、LabVIEW
Date:	2010-12
Issue Date:	2011-06-21 14:18:31 (UTC+8)
Abstract:	本研究利用精確操控微步進驅動器，以切換不同的分割角度，觀察在馬達承載微光柵有微小角度變化時，不同的繞射圖案，觀測其不同角度對於繞射圖案與鑑別率的關係。研究中利用具有極佳機電整合能力、撰寫修改容易以及相容性頗高的LabVIEW (Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench)虛擬圖控程式，進而控制馬達轉動之步級角。以虛擬圖控程式搭配以微步進馬達組作為元件抬升之量測平台，設計一自動化控制微光柵光訊息之量測系統，可穩定、精確的控制微光學元件的角度變化量。依照 CMOS-MEMS 製程規範設計微光柵元件，其製程元件光柵精細度為1μm 左右，兩種微光柵柵寬分別為2μm及5μm，在固定尺寸200μm×200μm 時，每公分光柵溝槽數最多可達50 萬條。利用微步進驅動器細微分割馬達偏移激磁之步級角，將原本步級角為 54’(0.9°)步進馬達變化角度縮小，最小可至3’23”(0.05625°)，控制負載在馬達出力軸之微光柵，微光柵其出射光具有繞射特性，改變其角度，可觀測出微光柵不同的繞射圖案，進而可得知微光柵抬升角度愈高其鑑別率相對會提高，以532nm綠光雷射入射，鑑別率最大可達3.5×105。
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