矽薄膜太陽能電池研究

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Title:	矽薄膜太陽能電池研究
Authors:	陳炳茂
Contributors:	光電系統工程系
Keywords:	矽薄膜太陽能電池、高密度電漿化學氣相沉積系統、熱絲化學氣相沉積系統、穿透導電氧化層、氫化非晶矽、氫化微晶矽、拉曼光譜、X-ray繞射、掃瞄式電子顯微鏡、太陽能光模擬器、轉換效率。
Date:	2009-09-30
Issue Date:	2010-08-23 13:29:49 (UTC+8)
Abstract:	矽薄膜太陽能電池具有較高的實用效益，且對未來開發較高效率太陽能電池亦具有可行性、低成本及建築結合應用(Building-integrated photovoltaic, BIPV)的優點。本研究利用高密度電漿(High density plasma chemical vapor deposition, HDP-CVD)及熱絲化學氣相沈積(Hot-wire chemical vapor deposition, HWCVD)系統在基板溫度為200 ℃下於已鍍上穿透導電氧化層(Transparent Conductive Oxide, TCO)的商用玻璃基板上，製備氫化非晶矽(Hydrogenated amorphous silicon, a-Si:H)、氫化微晶矽(Hydrogenated microcrystalline silicon, μc-Si:H)薄膜太陽電池，其太陽能電池結構為glass/TCO/p/i/n/ITO/Al。在此研究中主要探討改變製程參數對成長薄膜品質的影響，將所製得之P、I及N各層薄膜以拉曼光譜(Raman spectrum)、X-ray 繞射分析儀(XRD)、掃瞄式電子顯微鏡 (Scanning electron microscope, SEM)等量測分析其性質，並將目前實驗較佳化具元件級之P、I及N各層薄膜整合製作氫化非晶矽、微晶矽薄膜太陽能電池，並結合使用太陽能光模擬器(Simulator)量測發電轉換效率。未來亦將繼續此研究成長較佳的薄膜參數且改善薄膜沉積的均勻性，並提高薄膜的品質以提升太陽能電池效率。
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