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    題名: 以溶膠凝膠法製備ZrO2/SiO2/Si 光波導-第2 年
    作者: 謝文靚
    貢獻者: 光電系
    關鍵詞: ZrO2/SiO2/Si、光波導
    日期: 2008-12
    上傳時間: 2010-03-24 11:14:42 (UTC+8)
    摘要: 本計劃為以溶膠凝膠法製備ZrO2/SiO2/Si 光波導。此光波導可作導光元件，而且
    是以Si 為基板;可應用在光通訊，生醫檢測，微機電，奈米光晶，光接受耦合元件等領域。
    ZrO2在可見光區具有高穿透性,高折射率。在紫外光區可被紫外光激發，而且可被紫
    外光激發出強的藍綠色螢光。 ZrO2成本低廉、没有毒性、高的化學穩定性、高的介電質特
    性。Si砂藏量豐富、能承受較高的操作溫度和較大的雜質摻雜範圍 ，故適合作基材。
    作ZrO2/Si光波導的方法是以ZrO2 薄膜用溶膠凝膠方法製作於Si基板上。ZrO2 薄膜
    可用很多種方法製作:CVD鍍膜、雷射鍍膜、RF鍍膜等。但以溶膠凝膠方法成本最低，可作
    成大面積成品，故值得研究。
    以溶膠凝膠法製備ZrO2/Si光波導的配製作方法是:用zirconium propoxide 、acetic
    acid及 acetylacetone 三種溶液組成的。然後用spinning-coating 的方法把混合溶液塗
    佈在 Si晶片上 。
    本計劃研究比較3 種不同Zirconium (IV) propoxide 濃度樣品的穿透光譜;由此可知
    Zirconium (IV) propoxide 的濃度為0.2~0.4mole 時穿透光譜強度較好。而3 種不同
    Zirconium (IV) propoxide 的濃度的樣品大小厚度均相同,而且照射雷射光源強度也用相同
    強度的雷射光源。 (0.2~0.4mole)ZrO2/SiO2/Si 所量測出來的傳輸率高達60~80%，顯示出
    (0.2~0.4mole)ZrO2/SiO2/Si 可以做出傳輸率極高的光波導元件。
    顯示於類別:[光電系統工程系] 校內專題研究計畫

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