Minghsin University Institutional Repository:Item 987654321/151
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    題名: 應用於中醫脈診之電容式壓力感測器的微結構探討
    作者: 蔡健忠
    貢獻者: 光電系
    關鍵詞: 電容、感測器、壓力、CMOS-MEMS、BioMEMS
    日期: 2008-12
    上傳時間: 2010-03-23 16:56:18 (UTC+8)
    摘要: 本研究計畫中醫脈診之電容式壓力感測器微結構(Micro Structure of a Capacitive Pressure Sensor Applied on the Diagnosis by Feeling the Pulse in Chinese Medicine)元件，主要是仿中藥醫學上脈搏把脈的原理，設計一電容式壓力感測元件來做為體外式脈搏量測器，經由此感測器量測所取得之資訊，透過無線網路或無線傳輸的方式，交由資訊部門進行身體狀況分析，並進一步傳回使用者之健康手錶，以提供即時的健康資訊給予使用者，使其在沒有醫師的環境下也能瞭解身心狀態，當身體異常時，進一步前往醫院就醫，同時在就醫時提供醫生病徵歷程，讓醫生能更瞭解病人的身體狀態，以對病人做最有效率的治療。
    研究中擬利用積體電路輔助設計軟體(L-Edit)，設計出壓力薄膜幾何尺寸、形狀與固定臂，並依其空腔高度0.64μm與鋁材料之降伏及拉伸應力作為設計的限制，並利用微機電模擬軟體(IntelliSuite)，進行元件特性模擬，歸納其結果後，依最佳設計委託國家晶片系統設計中心依TSMC 0.35μm 2P4M製程製作電容式壓力感測器。
    本計畫主要是開發日後應用於隨身健康器材之相關設備的關鍵元件，並整合CMOS-MEMS共用製程元件設計準則，以利日後微生醫元件(BioMEMS)之發展，其能符合業界低開發成本及高性能之要求，進而達到商品化的目標。
    顯示於類別:[光電系統工程系] 校內專題研究計畫

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