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    題名: 使用移相術精密量測壓電相位移動器之研究
    作者: 江政忠
    貢獻者: 光電系統工程系
    關鍵詞: Twyman-Green 干涉儀、相位移動器、PZT、Hariharan 演算法、Carré 演算法、光學檢測、量測精準度。
    日期: 2008-12
    上傳時間: 2010-03-23 16:52:50 (UTC+8)
    摘要: 本計劃已成功地使用相移式Twyman-Green 干涉儀，量測PZT 的位移量對施加電壓
    的正確關係，且使用Hariharan 演算法計算不同的相位移量，除了相位移量在0、π 、2π
    附近，因為Hariharan 演算法無法判斷的關係，改採用判斷干涉圖形的方式取得。且本
    計劃成功地透過電腦控制電源供應器施予PZT 的供給電壓，獲得推動相位以引入量測參
    數，再成功地將產生的干涉圖形透過CCD 擷取影像至電腦。本計劃透過數值模擬方式
    來比較Hariharan 五步相位演算法與Carré 四步相位演算法，在干涉圖形的光強度具有相
    同誤差的情況下，證明Hariharan 五步相位演算法所計算獲得的相位移量α 與原本引入
    的相位移量α 之間的誤差較小，故採用Hariharan 五步相位演算法計算相位移量。在目
    前的產業中，由於產品精密度及成本要求越來越嚴格，所以對產品的檢測就顯的更加重
    要，而其中光學式的檢測方法則因具有非接觸性，測量時間短及全域測量等優點，所以
    較符合工業用途。在光學干涉儀所組成的量測系統中，大多使用具有壓電特性的PZT
    來引入相位差，因此PZT 的精準度對測量結果的準確性影響重大，且PZT 在干涉領域
    中的應用非常廣泛，因此本研究的研究成果證實和採用最能降低硬體雜訊的演算法，與
    使用相移式Twyman-Green 干涉儀準確地量測PZT 的位移量對施加電壓的關係，有助於
    提升使用PZT 的量測精準度，也有助於提升業界對於壓電相位移動器的認知與幫助，也
    有助於壓電相位移動器的學術探討與研究。
    顯示於類別:[光電系統工程系] 校內專題研究計畫

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