利用波前量測儀檢驗表面粗糙度

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Title:	利用波前量測儀檢驗表面粗糙度
Authors:	楊寶賡
Contributors:	光電系
Keywords:	波前量測、標準差、粗糙度
Date:	2020-10
Issue Date:	2020-11-30 10:12:35 (UTC+8)
Abstract:	本計畫研究如何使用 Shack-Hartmann 波前量測儀搭配一個 LED 光源建構一個可以量測近似鏡面樣品表面粗糙度的裝置。當一探測光源之波前由一粗糙表面反射，則反射光波曲前面的高度跳動會比入射光波前曲面的高度跳動來得大，因此可藉由適當設計實驗架構量測波前曲面可以推得粗糙表面高度跳動訊息。由於Shack-Hartmann 波前量測儀中偵測器的隨時間跳動雜訊問題，使得奈米等級的表面跳動難以直接量測。我們提出經由引進適當統計方法分析，可以分離雜訊影響，突破儀器本身量測極限，量到奈米等級的表面高度起伏。我們以一片表面目視如鏡面般磊晶片做測試，成功得到奈米等級地形高低起伏訊息。
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