二氧化鈦薄膜摻雜一氧化矽之濾藍光研究

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Title:	二氧化鈦薄膜摻雜一氧化矽之濾藍光研究
Authors:	江政忠
Contributors:	光電系
Keywords:	濾藍光、抗反射薄膜、二氧化鈦、一氧化矽、二氧化矽、薄膜製鍍、混合膜
Date:	2017-10
Issue Date:	2017-12-29 15:46:29 (UTC+8)
Abstract:	本研究已製鍍出具有濾藍光功能之抗反射薄膜濾光片，是以電子槍蒸鍍法製作多層二氧化鈦(TiO2)和一氧化矽(SiO)混合膜與二氧化矽(SiO2)膜之光學薄膜，並製鍍不同比例之TiO2 和SiO 混合單層膜，探討其光學與機械特性，以此找出混合膜之最佳製程參數為混合比例SiO 18.9%、TiO2 81.1%，用以設計與製鍍抗反射光學多層膜，達到在藍光區吸收較大之濾藍光抗反射薄膜，得到藍光區最佳吸收與綠、紅光區最佳穿透，完成於基板兩面製鍍此抗反射光學多層膜，藍光區波長450nm 左右穿透率已降至65%以下。本研究中薄膜的光學特性經由穿透光譜及橢圓偏光儀加以判讀，表面粗糙度則由原子力顯微鏡測量而得到。
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