以CMOS-MEMS 製程製作可控制濕度之智慧型開關微結構

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Title:	以CMOS-MEMS 製程製作可控制濕度之智慧型開關微結構
Authors:	蔡健忠
Contributors:	光電系統工程系
Keywords:	溼度開關、CMOS-MEMS、微流道
Date:	2016-10
Issue Date:	2017-01-09 15:08:21 (UTC+8)
Abstract:	此研究計畫將利用水能做為導體的特質，在晶片裡設置可進水的通道，此通道達到數個孔徑，使得各孔徑在環境濕度不同時導通，接著傳送電訊號到馬達，使馬達開始運轉，能讓除溼機節能效果以及安全性提高。本次研究初步已利用衛生紙吸水的實際過程，經高倍率光學顯微鏡觀察實際的微水道實驗，在經由模擬軟體建3D 立體模型分析其應力及流體在此微流道的運動行為模態FloXpress 分析後，得到本元件各孔徑為70μm、100μm、130μm，且動作時間為0.509 ms、0.297 ms、0.238 ms，亦是指本開關可以在瞬間內完成ON/OFF 的動作，將此構想運用在除濕機上，使得除濕機可在不同環境濕度下運轉，此法不僅達到自動化要求，也可依不同的環境條件下，選擇在多少濕度時，使除濕機導通。此構想將依照國家晶片系統設計中心(National Chip Implementation Center, CIC) 以臺灣積體電路股份有限公司(Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited, TSMC) 提供之0.35μm CMOS MOEMS 共用製程(TSMC 0.35um 2P4M CMOS MOEMS) 之設計規範。
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